レーザ測距による傾斜面形状測定時の測定誤差低減手法の開発

抄録

FMCW法に基づいた測距レーザを走査して傾斜面の3D形状を測定する際に、階段状の測定誤差が発生する課題に対して、照射レーザのビーム径と面の傾斜角度の影響の詳細解析を行うことで、スペックル起因の誤差発生メカニズムを解明した。解明した誤差発生メカニズムに基づき，スペックルの影響を抑制した誤差低減手法を提案すると共に，測定対象の面粗さ，傾斜角度を変えた基礎実験にて，提案手法が有効であることを実証した。