表面相互作用力検出型マイクロプローブを用いた微小開孔の内径測定に関する研究

抄録

測定物表面近傍nm領域で局所的に働く相互作用力を応用したマイクロプローブは高感度かつ低測定力で表面位置を検出でき，プローブ先端の被測定物表面への吸着を低減できる．本研究ではスタイラス軸回りの全方位に対してプロービング検出が可能な表面相互作用力型マイクロプローブを開発し，プロービング精度およびマイクロメートルオーダの微小開孔の内径測定への応用可能性について検証を行った．