サブナノメートル以下の分解能を有する正弦波位相変調測長干渉計の開発

恒温チャンバの効果確認

抄録

測長干渉計は光源周波数の安定化により測定結果のトレーサビリティを確保できる点や基本分解能が高いという点でサブnmオーダの変位測定に有効である。正弦波位相変調を測長干渉計に適応し、位相補間法と組み合わせることでサブnm以下の分解能が達成される。一方で、実験室雰囲気下では干渉計や環境の揺らぎがnm以上の変動を引き起こす。本報では、恒温チャンバを用いた測定環境の安定化について検討する。