電気光学素子及び周波数走査型レーザダイオードを用いた干渉計周期誤差測定

抄録

干渉計非線形周期誤差評価法は干渉計の可動ミラーを一定速度で移動させるなど測定ビームの幾何学長を変更し周期誤差の評価を行うことが一般的である. しかしこの手法は可動部のヒステリシス性やステージの特性などにより周期誤差成分の測定精度が制限される. 本研究では, 幾何学長ではなく, 屈折率および, 光源の使用波長を変換させることで位相のシフトを行い, 非線形周期誤差の評価を行う.