階層型微細機能構造創製に関する研究（第3報）

任意階層型一次元微細周期構造の光学機能の解析

抄録

近年マイクロ，ナノオーダの階層的な周期をもつ表面微細構造の特徴的な光学機能が注目を集めていることから，本研究はその光学特性の解明と造形法の確立を目的としている．これまでの報告で，⼆重周期ホログラフィック回折格子の回折特性を周期の位相ずれも考慮したスカラー理論により計算し，厳密結合波解析(RCWA)と⽐較した．本報ではより多くの階層的周期を持つ構造へ理論を拡張し，その妥当性を検証した