精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会春季大会
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Agナノワイヤを触媒とした化学加工による微傾斜Si表面上へのナノ溝形成
*馬 智達増本 晴文川合 健太郎山村 和也有馬 健太
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会議録・要旨集 認証あり

p. 21-22

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抄録

我々は、水素終端化されたSi原子層シートの作製を目指している。今回は、微傾斜Si(111)表面のステップ/テラス構造のエッジ部にAgナノワイヤを形成し、これを触媒的に援用した化学エッチングを試みた。Ag粒子の直下のみが選択的にエッチングされ、ミシン目状のナノ溝構造(深さ約2nm、幅約10nm)の形成を確認し、その局所構造を調査した。以上より、異なる原子層厚のSiシートを分離する手法の目途をつけた。

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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