精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会春季大会
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超音波支持の周波数依存性に関する研究
第2報:圧力分布測定
*窪田 雅大髙﨑 正也山口 大介石野 裕二水野 毅
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キーワード: 超音波, 非接触, 圧力分布
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p. 290-291

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抄録

超音波振動面下方に,板状物体を近づけることによって非接触支持できることが報告されている.この現象は超音波支持と呼ばれる.第1報では,周波数の異なる振動子を用いて超音波支持における作用力測定を取得し,周波数依存性があることを実験的に確認した.本報では,周波数の違いにおける超音波支持の空隙の局所的な圧力分布を観測し周波数依存性の有無を検証した.

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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