X線CTによる回転楕円ミラーの形状評価 測定精度、再現性の評価

清水 冴月; 山口 豪太; 竹尾 陽子; 長井 超慧; 大竹 豊; 三村 秀和

doi:10.11522/pscjspe.2020S.0_608

2020年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020S.0_608

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2020年度精密工学会春季大会

開催地: 東京農工大学

開催日: 2020/03/17 - 2020/03/19

X線CTによる回転楕円ミラーの形状評価

測定精度、再現性の評価

*清水冴月, 山口豪太, 竹尾陽子, 長井超慧, 大竹豊, 三村秀和

著者情報

キーワード: X線CT, X線集光

会議録・要旨集フリー

p. 608-609

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抄録

反射型軟X線集光素子，回転楕円ミラーは色収差がなく，大きな開口数を持つなど優れた性質を持っている．回転楕円ミラーの必要直径精度は1μmであることが知られているが，確立された形状計測手法は存在しない．我々は，産業用X線CTを用いた回転楕円ミラーの形状計測手法を開発してきた．本研究では，この計測手法について測定精度と再現性を確認した．

責任著者(Corresponding author)

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