精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会春季大会
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アクリル定盤と水によるガラス表面の平坦化
*郭 建麗松澤 雄介三村 秀和
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p. 650-651

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抄録

これまでの研究で、様々な有機材料の中でアクリル粒子を利用することで、ガラス表面を加工できることが明らかになっている。本研究では、アクリル粒子ではなくアクリル定盤によるガラスの平坦化を試みた。本加工では加工液として水のみを用いている。これまでガラス表面の平坦化現象を確認している。本発表では、アクリル表面とガラス表面の化学反応性の基礎的検討とアクリル定盤によるガラス平坦化の結果について報告する。

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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