サファイアの高速鏡面研磨に関する研究

弾性パッドを用いた高圧加工

抄録

サファイアは化学的に安定で高い硬度を持つため難加工性材料として知られている．ダメージレスな鏡面を得るには機械的加工およびＣＭＰが必須となっており，加工能率が低いことが課題である．高能率な加工を行うためには砥石を用いることが有用であるが，作製が困難な場合がある．そこで，弾性パッドを用いて高圧に研磨することで疑似的に砥石のような加工ができないかと考えた．本報ではその加工特性について報告する．