精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会春季大会
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一次元ナノ材料の高速原子間力顕微鏡を用いたマニピュレーション法の開発
*片倉 健太中澤 謙太岩田 太
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p. 7-8

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抄録

我々は高速原子間力顕微鏡を用いることで,数秒ごとに更新される形状像を確認しながらマニピュレーションを行うシステムを開発している.これまで,高速走査でのカンチレバーのたわみ変化から画像化する手法を用いてきたが,相互作用がしばしば問題になっていた.本研究ではZフィードバック制御の導入により,マニピュレーションの再現性向上に取り組んだ.一元ナノ材料を用いた本手法のマニピュレーション結果について報告する.

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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