主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2020年度精密工学会春季大会
開催地: 東京農工大学
開催日: 2020/03/17 - 2020/03/19
p. 7-8
我々は高速原子間力顕微鏡を用いることで,数秒ごとに更新される形状像を確認しながらマニピュレーションを行うシステムを開発している.これまで,高速走査でのカンチレバーのたわみ変化から画像化する手法を用いてきたが,相互作用がしばしば問題になっていた.本研究ではZフィードバック制御の導入により,マニピュレーションの再現性向上に取り組んだ.一元ナノ材料を用いた本手法のマニピュレーション結果について報告する.