精密工学会学術講演会講演論文集
2020年度精密工学会春季大会
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Φ100 mm凹非球面ミラーの非接触三次元ナノ形状測定
*生口 幹也倉地 智春橋本 航汰豊吉 結衣北山 貴雄姜 正敏遠藤 勝義
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p. 5-6

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抄録

近年、形状自由度の高い光学素子が様々な分野で必要となっている。このような光学素子の作製には高精度な三次元測定技術が必要となっている。そこで我々はレーザーの直進性を用いた法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定法を開発している。本報では、従来よりサイズが大きいΦ100 mm凹非球面ミラーを測定し、その結果について報告する。

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© 2020 公益社団法人 精密工学会
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