主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2020年度精密工学会春季大会
開催地: 東京農工大学
開催日: 2020/03/17 - 2020/03/19
大阪大 工学部 応用自然科学科 精密科学コース
大阪大 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
大阪大 工学研究科 附属超精密科学研究センター
p. 5-6
(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)
(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)
近年、形状自由度の高い光学素子が様々な分野で必要となっている。このような光学素子の作製には高精度な三次元測定技術が必要となっている。そこで我々はレーザーの直進性を用いた法線ベクトル追跡型非接触ナノ形状測定法を開発している。本報では、従来よりサイズが大きいΦ100 mm凹非球面ミラーを測定し、その結果について報告する。
すでにアカウントをお持ちの場合 サインインはこちら