デュアルリニアスケールを用いた工作機械精度測定システムの温度特性の実験的解析

抄録

生産プロセスの自動化を見据えた長期的な工作機械精度の補正維持のため，筆者らは工作機械にリニアスケールを複数配置した工具端精度測定システムを開発した．本システムを用いた測定実験から，リニアスケールの線膨張が測定精度の低下をもたらすことが課題と判明した．本論文では，リニアスケールの温度と線膨張の関係をレーザー干渉計を用いた測定で明らかにし，温度補正を加えることで安定した測定が可能である結果が得られた．