圧電素子の変形速度による電磁石の位置保持への影響

抄録

筆者らは、電磁石と圧電素子を利用した小型移動ロボットを開発し、多自由度位置決め装置への応用を目指している。ロボットには1サイクルの移動量に誤差があった。この誤差はクランプ機構として使用している吸着状態の電磁石の位置ずれが関係し、先行研究では圧電素子の高速変形によって発生することを確認した。本稿では、圧電素子の変形速度を変えて位置ずれを測定し、位置ずれの小さい圧電素子の制御信号波形を明らかにした。