積層型圧電アクチュエータのヒステリシスを考慮した等価回路モデル

抄録

圧電アクチュエータは印加電圧を変化して変位を制御することが多いが，これらの間にはヒステリシスが存在する．本報では，圧電アクチュエータのモデルとして用いられることが多いMartinのモデルで，機械側のコンプライアンスをCauer回路で表現し，各静電容量が双曲線正接関数に基づいて変化するモデルを提案する．変位と印加電圧の関係を利用してモデル化したところ，充電される電荷と変位との関係を含め概ね一致した．