(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃積層圧電素子を用いた弾性フィン型超音波モータの改良

抄録

本研究ではハイパワー特性に優れた(Bi,Na)TiO₃-BaTiO₃の積層圧電素子を用いた超音波モータの改良を行った。積層圧電素子を金属部材で挟み予圧をかけ、ロータに取り付けられた弾性フィンを用いて積層圧電素子の変位を回転モーメントに変換し、ロータを回転させた。ステータの中心速度を最大化する積層振動子の最適予圧は20 Nとなり、印加電圧90 Vpp、ステータ-ロータ間の予圧0.5 Nで駆動時の無負荷回転速度は418 rpmとなり、高速な回転が得られた。