混合凝縮性ガス下での光ナノインプリントにおける光硬化性樹脂の微小液滴の充填評価

抄録

インクジェットを用いた光ナノインプリントは次世代リソグラフィ技術として注目されているが、光硬化性樹脂の微小液滴のモールドへの充填の高速化が課題となっている。本研究では、モールドへの充填を促進する効果がある混合凝縮性ガスを導入する技術を、インクジェットを用いた光ナノインプリントに採用し、充填性の評価を行った。混合凝縮性ガスを導入することにより微小液滴の充填性が向上し、充填時に生じやすい気泡欠陥除去にも効果があることがわかった。