インチワーム型精密位置決め機構のFF／FB制御による星形離散目標点への位置決め制御

抄録

圧電アクチュエータを動力とするインチワーム型機構を用いて複雑軌道における精密位置決め制御実験を行った。軌道上に複数の目標点を設定し、フィードフォワード制御とフィードバック制御を併用した制御側を適用した。これにより軌道の終点だけでなく各チェックポイントにおいても、目標点からの位置決め誤差を5[µm]以内、機構の姿勢角誤差についても0.01[deg]以内に収めることに成功した。