弾性案内－電磁力駆動型超精密4軸位置決め機構による表面微細形状測定・加工システム

第２報，加工モードと測定モードにおける特性

抄録

本研究は，一体化ヒンジ機構を用いたX-Y-Z-Yaw（ストローク1×1×1 mm）の超精密4軸位置決め機構によって，低侵襲の触針式表面形状測定モードと，十分な針圧下での加工モードを両立可能な表面微細形状測定・加工システムの実現を目的としている．前報ではスクラッチ加工の基礎実験について述べた．本報では，スタイラスの押し込み量を変化させた場合の加工モードと測定モードにおける特性を検討している．