サブミクロンオーダ切削の高精度化に関する研究（第3報）

微小傾斜面加工の周期的誤差補正における切削速度の向上

抄録

我々は，前報において，微小傾斜面の加工における周期的誤差に対し，エンコーダ値に基づく補正方法を提案した．しかし，エンコーダ値の測定環境が低速であったため，通常の切削速度では検証できなかった．本報では，測定環境を改善し，切削速度の向上を図った．その結果，微小傾斜面加工の勾配，サンプリングタイム，補正の分割数，カウント周波数，NCの処理速度によって，切削速度の上限が決まることが明らかになった．