主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27
p. 542
チャネルカット結晶はSPring-8のような高輝度硬X線光源におけるモノクロメータとして有用である.しかしその複雑な形状から,反射面である内壁側面部に既存の高精度研磨技術を適用できない.我々はこれまで大気圧プラズマによるエッチング技術を応用し,内壁の無歪み加工手法を開発してきた.狭い溝構造を有する内壁面にも適用が可能な電極として,新たに直径50 µmのニッケルワイヤを電極として採用し,その加工特性を評価した.