精密工学会学術講演会講演論文集
2021年度精密工学会秋季大会
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狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの大気圧プラズマによるワイヤ電極を用いた内壁無歪み加工
*松村 正太郎小笠原 伊織中野 勝太大坂 泰斗矢橋 牧名山内 和人佐野 泰久
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p. 542

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抄録

チャネルカット結晶はSPring-8のような高輝度硬X線光源におけるモノクロメータとして有用である.しかしその複雑な形状から,反射面である内壁側面部に既存の高精度研磨技術を適用できない.我々はこれまで大気圧プラズマによるエッチング技術を応用し,内壁の無歪み加工手法を開発してきた.狭い溝構造を有する内壁面にも適用が可能な電極として,新たに直径50 µmのニッケルワイヤを電極として採用し,その加工特性を評価した.

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© 2021 公益社団法人 精密工学会
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