超小型KBミラーを用いた軟X線sub 50 nm集光システムの開発

抄録

2mm長と8mm長のミラーで構成される超小型Kirkpatrick-Baezミラーは、焦点距離が最短2mmと極端に短く、集光・顕微観察で利点が多い。一方、曲率半径10m以上だった従来のX線ミラーと異なり、超小型ミラーは曲率半径が150mmと急峻な形状を持つ。本研究ではこれらミラーを成膜法で作製した。計測には走査型白色干渉計を用いた。修正加工によって形状誤差PV値が2.8nmとなるミラーを作製し、軟X線用の高NAミラーとして従来に無い50nm回折限界集光を実現した。