精密工学会学術講演会講演論文集
2021年度精密工学会秋季大会
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結像型X線顕微鏡における位相イメージング手法の開発
*田中 優人松山 智至井上 陽登山田 純平香村 芳樹矢橋 牧名石川 哲也山内 和人
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p. 546-547

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抄録

結像型X 線顕微鏡では,試料の高空間分解能な像がリアルタイムに得られる.しかし,本顕微鏡では,コントラストの低い吸収コントラスト像しか直接観察できないことから,高いコントラストを持つ位相コントラスト像の獲得が望まれる.本研究では,様々なデフォーカス位置における試料の吸収コントラスト像を用いて,位相コントラスト像を得る手法を提案した. SPring-8 BL29XUでの実験を通して本手法の有用性を実証した.

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© 2021 公益社団法人 精密工学会
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