2021年度精密工学会秋季大会
会議情報
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27
圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5 nm集光システムの開発（第2報）
差分成膜を組み合わせたハイブリッド波面修正
p. 545
詳細
主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27
p. 545
大型放射光施設が発振する高強度X線をより小さく集光することで，高光子密度を活かしたX線非線形光学や，小さなスポット径を利用したナノ構造解析の発展が期待される．求める集光径が小さくなるほどミラーに必要な形状精度は厳しくなる．そこで我々は中周期以上の形状を形状可変ミラーで，短周期形状を差分成膜法で修正するハイブリッド波面補償を導入した．本システムを用いることで，回折限界集光条件を満たすことに成功した．
