現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究 レーザ測長器を用いた温度補正の評価

大西 徹; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2021A.0_565

2021年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021A.0_565

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2021年度精密工学会秋季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27

現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究

レーザ測長器を用いた温度補正の評価

*大西徹, 高増潔

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キーワード: 三次元測定機, 現場環境, レーザ干渉計, 温度補正, 温度測定誤差

会議録・要旨集フリー

p. 565-566

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抄録

CMM（三次元測定機）の普及に伴い，CMMの設置環境も測定機としては過酷な環境に設置されることが多くなってきている．しかし，過酷な環境においても測定精度への要求は益々高くなってきている．本報ではCMMの21個の幾何学誤差のうち寄与率が高いと考えられる温度補正を含めた目盛誤差，直角誤差，および，真直誤差について，レーザ測長器を用いた評価法，および，補正法を提案した．

責任著者(Corresponding author)

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