周波数走査による変位計測光干渉計の周期誤差計測

抄録

光干渉計は高分解能であることから、半導体製造や精密加工などナノテクノロジ分野で使用されるが、寄生反射や偏光混合に基づく周期誤差により測定精度が制限されている。この周期誤差を低減又は、補償できるシステムを作るため、高精度での周期誤差計測が必要である。幾何学長変化を利用した従来法では駆動ステージのヒステリシス特性等により、周期誤差計測精度が左右されてしまうという問題がある。本研究では、高精度で測定可能な周波数測定を利用し、周波数走査による周期誤差計測方法を新たに提案する。