主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/09/21 - 2021/09/27
東北学院大 工学研究科 機械工学専攻 オプトメカトロニクス加工研究室
東北学院大 工学部 機械知能工学科 オプトメカトロニクス加工研究室
p. 583-584
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超精密加工は切り込み量が小さいため，加工開始時に工具をワークに近づけないと無駄なエアーカット時間が生じる．逆に，切り込み過ぎるとワークを無駄に削ることにもなる．そこで，我々は接触時の振動に敏感に反応するMEMSミラーにシングルモード光を反射させることで高いQ値を持つ接触検知センサを開発した．ミラー支持部を梁型から螺旋型にすることで接触を瞬時に反応することができ，かつ広帯域化も実現したので報告する．
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