モード同期フェムト秒レーザ共焦点プローブに関する研究

極小点追跡法を用いた合焦波長検出に関する検討

抄録

光源にモード同期フェムト秒レーザを適用した光軸方向に非走査な色収差共焦点プローブにおける，新たな測定対象物合焦波長検出アルゴリズムとして極小点追跡法を提案する．デュアル検出ユニットを採用した色収差共焦点光学系を構築し，光軸変位測定範囲・測定分解能について検討を行った結果とともに，実際に段差測定を行うことで提案手法の実現可能性について検討を行った結果を報告する．