X線回転楕円集光ミラーの形状取得のためのX線CTボリュームからの体積率を用いた表面抽出の高精度化　第2報

抄録

高い分解能でX線顕微観察を行うには、高精度に加工したX線集光素子が不可欠である。集光素子の一つの回転楕円ミラーに対し、前報では、X線CTスキャンを行い、CT値を用いて表面付近におけるミラーの存在割合を算出し、ミラー断面が円であることを利用した最適化により表面抽出を行った。本報では、ミラーの存在割合の算出において、より正確なミラーの形状近似を用いることで、前報より高精度な表面抽出が可能であることを示す。