圧電素子駆動型形状可変ミラーを用いたX線sub-5nm集光システムの開発

抄録

大型放射光施設が発振する高強度X線をより小さく集光することで，高光子密度を活かしたX線非線形光学や，小さなスポット径を利用したナノ構造解析の発展が期待される．求める集光径が小さくなるほどミラーに必要な形状精度は厳しくなる．そこで我々は形状可変ミラーを導入し，有限要素法を用いて修正可能な形状を計算した．6周期までの正弦波型の初期形状誤差がPV-3 nm以上存在した場合においても修正可能であることがわかった．