タイコグラフィ法による大型X線ウォルターミラーの光学的評価

抄録

結像用ミラーの表面形状を統合的に計測するための方法として、タイコグラフィ法がある。天体望遠鏡用の大型ウォルターの評価における波面計測を行う際にはそのビーム形状がごく細い輪帯であることが問題となる。ミラー下流端でピンホールを走査する方法でこれを解決した。