結像型X線顕微鏡における波面計測手法の開発

抄録

X線ミラーを用いた結像型X線顕微鏡は，色収差が無くスループットが高い点で優れているが，許容アライメント誤差が厳しく，高空間分解能画像を得るためには，拡大結像配置にて光学素子由来の波面収差を計測しなければならない．我々は，フレネルゾーンプレートの集光点を試料とし，その拡大像を複数枚取得した上で反復的位相回復計算を施すことで波面を計測した．本手法を用いてアライメントを調整し，空間分解能23 nmを達成した．