主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2021年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2021/03/16 - 2021/03/22
p. 672
4枚のミラーから成るAdvanced Kirkpatrick-Baezミラーは硬X線領域における有望な結像光学系である.我々は様々な光学系を実際に開発し,30nmの空間分解能を持つX線顕微鏡をすでに実現した.この光学系に複数の凸面鏡を組み入れることで,さらに高度な光学系が構築可能であることを見出した.本発表では,いくつかの設計例とシミュレーションを示し,結像特性について調査した結果を示す.