精密工学会学術講演会講演論文集
2021年度精密工学会春季大会
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複数の凸面鏡を持つ高度な硬X線結像光学系の開発(第一報)
*松山 智至波多 健太郎山内 和人
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p. 672

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抄録

4枚のミラーから成るAdvanced Kirkpatrick-Baezミラーは硬X線領域における有望な結像光学系である.我々は様々な光学系を実際に開発し,30nmの空間分解能を持つX線顕微鏡をすでに実現した.この光学系に複数の凸面鏡を組み入れることで,さらに高度な光学系が構築可能であることを見出した.本発表では,いくつかの設計例とシミュレーションを示し,結像特性について調査した結果を示す.

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© 2021 公益社団法人 精密工学会
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