Dual Comb Ranging による変位測定

抄録

精密加工を実現するためには，工作機械の変形を計測し補償することが必要である。しかし，既存の変位センサでは広範囲の変形を測定するのには，時間的・空間的な課題がある。そこで光周波数コム測距法を利用した変位補償システムを提案した。これにより3次元変位を高精度かつ高速，非接触で捉えることが可能になり，インプロセスでの変位補償システムを確立した。