固体表面での微細探針の凝着力測定

抄録

原子間力顕微鏡 （AFM）を用いることにより，固体表面間に働く相互作用を測定することが可能である．シリコンの滑らかな平面と探針がヘルツ接触したときの凝着力と吸着力を原子間力顕微鏡により測定した．探針先端半径の大きさを変化させてフォースカーブの測定することにより，探針先端半径の大きさによって凝着力が変化することがわかった．また，測定環境を大気中と真空中で行い，環境湿度の影響についても検討した．