スティッチング処理を用いたきさげ加工面の広範囲測定に関する研究

第3報　2軸方向のスティッチングによる測定範囲拡大の検証

抄録

きさげ加工は，定盤などの高い平面度が要求される金属表面に高精度な平滑面を創生する手仕上げ加工である．前報では，斜入射干渉計を用いたきさげ加工面の表面形状測定において，断面プロファイルに基づく表面形状のスティッチング処理の有効性が検証された．本手法を2軸方向に拡張し，きさげ加工面の広範囲測定においてスティッチング処理により生じる誤差について検証を行った．