精密工学会学術講演会講演論文集
2022年度精密工学会秋季大会
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ファブリ・ペロー共振器を用いた曲率半径測定
*尾藤 洋一武井 良憲寺田 聡一
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p. 230-231

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抄録

ファブリ・ペロー共振器における高次モードの周波数間隔が凹面ミラーの曲率半径に依存することを利用した曲率半径測定システムを開発した。三つの凹面ミラーの組み合わせ測定を実施することにより、曲率基準を必要としない長尺曲率半径の絶対値測定を実現した。

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© 2022 公益社団法人 精密工学会
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