主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
産総研 工学計測標準研究部門
p. 230-231
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ファブリ・ペロー共振器における高次モードの周波数間隔が凹面ミラーの曲率半径に依存することを利用した曲率半径測定システムを開発した。三つの凹面ミラーの組み合わせ測定を実施することにより、曲率基準を必要としない長尺曲率半径の絶対値測定を実現した。
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