マスクレスリソグラフィを用いた3次元微細金型作製技術について

抄録

マイクロレンズアレイ（MLA）や回折光学素子（DOE）などに代表される光学デバイス、あるいは多段形状ないし傾斜構造が必要なマイクロ流路のようなバイオデバイスでは、微細な3次元構造が要求されることがある。本発表では、レーザー露光およびEB露光といったマスクレスの露光を活用して、3次元の微細金型形状を作製する技術について紹介する。