フーリエタイコグラフィに基づいたX線波面計測法の開発

抄録

形状可変ミラーを用いたアダプティブ波面修正により，超高分解能な結像型X線顕微鏡の実現に挑戦している．そのためには，拡大結像配置のままin-situにＸ線波面を計測できる手法が必要であるが，未だその手法は確立されていない．本研究ではフーリエタイコグラフィに基づいた波面計測法を提案し，本手法により拡大結像配置において高精度なin-situ X線波面計測が可能であることを実証した．