主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会秋季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/09/07 - 2022/09/09
p. 74
超高分解能なアダプティブX線顕微鏡の実現を目指し,顕微鏡上にてin-situでの波面計測を行う技術の開発を進めた.機械学習を用いて既知試料の顕微鏡像から波面を推定する手法を提案した.計算と実験のそれぞれで得た二種類の顕微鏡像を機械学習の入力とし用い,本手法の実現可能性を検証した.この結果,両者とも推定波面から再現した顕微鏡像とインプットした顕微鏡像がよく一致し,本手法の有効性を示すことができた.