高空間分解能な結像型Ｘ線顕微鏡のためのin-situ波面計測法の開発

抄録

ミラーベースの結像型Ｘ線顕微鏡はスループットや色収差の点で優れているが，高空間分解能観察を行う上ではミラーの許容形状誤差が小さくなる．修正すべき形状誤差を波面に基づき計測する手法の開発が求められていたが，現行の手法では大開口ミラー全体の波面が計測できなかった．そこで本研究ではミラーの異なる位置の波面を求め，スティッチングする手法を提案した．概念実証実験によりミラー全体の波面は矛盾なく求められた．