X線顕微分光イメージングを実現するマルチ開口回折格子の作製

抄録

XAFSイメージングはX線のエネルギーを掃引して測定を行う必要があり、長い測定時間を要する。マルチ開口超微細回折格子による単一撮像X線分光イメージング手法の開発はこの問題を解決する。X線結像光学系の結像面上に並ぶ、多数の開口を持つ回折格子で分光し、試料の構造と元素分布を同時に取得できる。本研究では、開口幅や縞間隔などの最適化により高空間・エネルギー分解能を持たせた回折格子の設計・作製法を紹介する。