ブロックゲージ表面の乱反射光と波長シフト干渉計を用いる3D形状計測

抄録

３D形状計測法に関して，レーザー光源の波長変更幅を10nmとして，計測精度の向上を狙いつつ精度評価を試みている．用いるのは金属表面からの乱反射光を利用するスペックル干渉計だが，計測精度評価のために利用できる粗面は入手できない．そこでほぼ鏡面のブロックゲージ表面を極めて薄いリンキングのためのオイルで覆い，その面からの乱反射光を波長シフト干渉計に取り込んで形状計測した．その計測方法と計測精度を報告する．