主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2022年度精密工学会春季大会
開催地: オンライン開催
開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17
p. 180-181
近接場光学顕微鏡は,ナノ領域における物性の光学的評価に欠かせない重要なツールとして幅広く用いられている.これまでに,試料の複屈折分布をイメージングに成功している.しかしながら,偏光特性には複屈折以外にも複吸収や偏光解消など様々なものがあり,これらを光の回折限界を超えた分解能での同時取得が必要となる.そこで本研究では近接場ミュラー偏光顕微鏡を開発し,ナノ領域における偏光特性のイメージングを行った.