デュアルプローブ型パッシブ近接場計測の基礎検証

抄録

パッシブ型近接場顕微鏡は，金属の探針で物質表面の熱励起エバネッセント波を散乱させて検出することで，温度分布のナノスケール分解能計測が可能である．近年，ナノデバイスの低電力化実現のため，局所温度分布や局所熱伝導解析技術などが求められているが，その実現には２本の探針での同時エバネッセント波計測が必要である．本報では局所熱伝導計測に向けて2本の探針で，近接場信号の2点同時測定・分析を行ったため報告する．