外部共振型半導体レーザーを用いた二重周期回折格子の格子周期計測

抄録

近年メタサーフェスなどの多重周期構造の果たす役割は益々大きくなっている．しかし，回折格子やAFM校正試料のような単一周期構造は高精度な格子周期計測法が確立しているのに対して，2つ以上の周期を持つ多重周期構造の計測は，ほとんど研究例がない．そこで，我々は外部共振器型半導体レーザーに計測対象となる多重周期回折素子を組み込み，多重化した発振波長から複数の格子周期を一括で計測する手法を提案・実証した．