レーザの光周波数計測技術の気体圧力計測への応用

抄録

気体の圧力は屈折率と温度から求められる。屈折率は、ファブリ・ペロ共振器を用いて、真空の際の共振周波数と任意の圧力の際の共振周波数の比から求められる。開発した光学式圧力計は、共振次数を圧力に応じて選択することで、5桁以上の広い範囲の圧力を高精度に計測できる。開発した光学式圧力計の測定値は校正された圧力計の測定値と不確かさの範囲内で一致した。今後、光学式圧力計の計測精度をさらに向上させる。