レーザ誘導方式小径深穴形状測定システムの開発

測定誤差抑制型プローブおよび検出精度の向上

抄録

直径17～21，L/D比500の深穴の形状精度を，測機のレーザ光のみで穴の曲がりおよび真円度が測定できる高機能測定システムを製作し，測定精度を調べてきた．本研究では，スタイラスシャンク部にリニアガイドを用いる方式にすることで，スタイ保持部の不備による検出精度の低下が改善されること，および検出精度の向上が期待できるオートコリメータ方式による穴の曲がり検出が改善されることを明らかにする．