定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測（第5報）

サブマイクロ光ファイバの直径計測原理の実験検討

抄録

さまざまな光学的特徴を示す，直径数100nm〜数μmに細径化されたテーパファイバが注目されており，これを精密に製造するにあたっては，ファイバ径の高精度な測定が必要である. 本報では，これまで計測困難であったサブマイクロファイバを測定すべく, 第3報で提案した, 定在波照明の位相シフトに対するファイバの散乱光強度パターンの変化率に着目した新たなインプロセス計測手法について, 実験的に検討を⾏った結果を報告する．