ファブリ・ペロー方式微細形状測定用光ファイバプローブの開発 試作および性能評価

村上 洋; 甲木 昭雄; 佐島 隆生; 服部 佑美

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_243

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_243

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

ファブリ・ペロー方式微細形状測定用光ファイバプローブの開発

試作および性能評価

*村上洋, 甲木昭雄, 佐島隆生, 服部佑美

著者情報

キーワード: ファブリ・ペロー, 光ファイバ, ファイバプローブ, 測定, 微細三次元形状測定機, 微細形状

会議録・要旨集フリー

p. 243

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抄録

微細金型や半導体，超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，ファブリ・ペロー方式の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，プローブの製作方法および性能試験の結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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